イトウ　マサユキ   ITOH MASAYUKI   伊東 雅之    所属   医療保健学部 臨床工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1992
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	High-Mobility Quantum Wires Fabricated by Ga Focused Ion Beam Shallow Implantation（Ga集束イオンビームシャロウ注入法により形成された高移動度量子細線）
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分	国内
巻・号・頁	31,pp.4487
著者・共著者	Masayuki Itoh, Tadashi Saku and Seigo Tarucha（伊東雅之、佐久規、樽茶清悟）
概要	Related to the doctoral dissertation（学位論文に関する内容） Ga集束イオンビーム注入法を工夫した新しい注入法であるシャロウ注入法を開発し、高移動度を有する量子細線の形成に成功した。