タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2007/06
形態種別	解説記事
査読	査読あり
標題	反応性イオンエッチン（RIE），スパッタ及び化学気相成長法（CVD)におけるシミュレーション
執筆形態	共著
掲載誌名	真空
出版社・発行元	日本真空学会
巻・号・頁	50(6),411頁
著者・共著者	尾上誠司，山崎修，井柳克