キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2005/03
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Oxidation of the hydrogen terminated silicon surfaces by oxygen plasma investigated by in-situ infrared spectroscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
出版社・発行元	0
巻・号・頁	475(1-2),pp.128-132
著者・共著者	Shinohara M, Katagiri T, Iwatsuji K, Matsuda Y, Fujiyama H, Kimura Y, Niwano M