キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2005/01
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Plasma oxidation process of silicon surfaces investigated by infrared spectroscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Advanced Oxidation Technologies
出版社・発行元	0
巻・号・頁	8(1),pp.41-46
著者・共著者	Shinohara M, Katagiri T, Iwatsuji K, Matsuda Y, Kimura Y, Niwano M, Fujiyama H