キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2004/10
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Oxygen-plasma induced hydrogen desorption from hydrogen-terminated Si(100) and (111) surfaces investigated by infrared spectroscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
出版社・発行元	0
巻・号・頁	464-465,pp.14-17
著者・共著者	Shinohara M, Katagiri T, Iwatsuji K, Matsuda Y, Fujiyama H, Kimura Y, Niwano M