タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1995/12
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	5kHz high repetition rate and high power XeCl excimer laser
執筆形態	共著
掲載誌名	Review of Scientific Instrument
出版社・発行元	American Institute of Physics
巻・号・頁	66(12)
著者・共著者	Tatsumi Goto, Koji Kakizaki, Noboru Okamot and Saburo Sato