ホソダ　ナオエ   細田　奈麻絵    所属   片柳研究所 研究者    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1999/03
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Transmission Electron Microscope Observations of Si/Si Interface Bonded at Room Temperature by Ar Beam Surface Activation
執筆形態	その他
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
出版社・発行元	Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	38,pp.1589-1594
著者・共著者	H. Takagi, R. Maeda, N. Hosoda, T. Suga
概要	被引用数 121回