イトウ　マサユキ   ITOH MASAYUKI   伊東 雅之    所属   医療保健学部 臨床工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1993/08
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	Transport Properties of Modulation-Doped Structures grown by Molecular Beam Epitaxy after Focused Ion Beam Implantation（集束イオンビーム注入後の分子線エピタキシー法によって成長した変調ドープ構造の電子輸送特性）
執筆形態	共著
掲載誌名	Extended Abstracts of the 1993 International Conference on Solid State Device and Materials, (SSDM'93),
掲載区分	国内
出版社・発行元	Chiba, Japan
巻・号・頁	pp.706-708
著者・共著者	Masayuki Itoh, Tadashi Saku, Toshimasa Fujisawa, Yoshiro Hirayama and Seigo Tarucha（伊東雅之、佐久規、藤澤利正、平山祥郎、樽茶清悟）
概要	August 29 - September 1 1993 Related to the doctoral dissertation（学位論文に関する内容） 新しい技術であるFIB-MBE接続システムを構築し、集束イオンビーム注入後に分子線エピタキシー法によって成長した変調ドープ構造の電子輸送特性の評価から、高品質メソスコピック構造の形成に成功した。