ニシオ　カズユキ   西尾　和之    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2014/06
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Fabrication of highly ordered nanoporous Si with high aspect ratio through prepatterning of Si using porous alumina mask.
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	53,pp.075201
著者・共著者	Suguru Tagawa, Takashi Yanagishita, Hideki Masuda