キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Interaction of hydrogen-terminated Si(100), (100), and (110) surfaces with hydrogen plasma investigated by in situ real-time infrared absorption spectroscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Vacuum Science and Technology A
出版社・発行元	0
巻・号・頁	21(1),pp.25-31
著者・共著者	Masanori Shinohara, Takayuki Kuwano, Yosuke Akama, Yasuo Kimura, and Michio Niwano, Hiroyasu Ishida and Rikizo Hatakeyama