タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2002/07
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	表面波プラズマ源を用いた大型液晶基板のエッチング及びアッシングの高速化
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会論文誌C
出版社・発行元	電子情報通信学会
巻・号・頁	J85-C(7),564-573頁
著者・共著者	青木克明，植草新一郎，山内健資，山華雅司，斎藤秀一，加納正明