キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Behavior of hydride species on Si surface during methane plasma irradiation investigated by in-situ infrared spectroscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
出版社・発行元	0
巻・号・頁	435(1-2),pp.13-18
著者・共著者	Masanori Shinohara, Takayuki Kuwano, Yasuo Kimura, and Michio Niwano