ヤマシタ　タカシ   Yamashita Takashi   山下　俊    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2003
形態種別	国際会議論文
標題	Alicyclic Polyimides as the Materials for Refractive Index Lithography by Electron beam reaction
執筆形態	共著
掲載誌名	RadTech Asia 03 proceedings,
巻・号・頁	618-621頁
著者・共著者	H. Onozeki, J Kato, Y Maekawa, Y Muroya, Y Katsumura, T.Yamashita