タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2002/05
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Gap-Fill Process of Shallow Trench Isolation for 0.13µm Technologies
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	41(5),pp.2886-2893
著者・共著者	Hiroshi Nishimura, Makoto Fujino, Norio Nishi