タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2002/06
形態種別	学術論文
標題	Topography Simulation of Reactive Ion Etching Combined with Plasma Simulation, Sheath Model, and Surface Reaction Model
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	41(6),pp.3947-3954