エノキ マナブ
  榎 学
   所属   片柳研究所 研究者
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2004/07
形態種別 学術論文
査読 査読あり
標題 Evaluation of interfacial adhesion between Si substrate and organic polymer dielectric film
執筆形態 その他
掲載誌名 Journal of the Japan Institute of Metals
掲載区分国内
出版社・発行元 JAPAN INST METALS & MATERIALS
巻・号・頁 68(7),462-467頁
著者・共著者 H. Yamazaki; M. Enoki
概要 被引用数 1回
DOI 10.2320/jinstmet.68.462