エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1991
形態種別	学術論文
標題	Temperature Dependence of the Sticking Probability and Molecular Size of the Film Growth Species in an Atmospheric Chemical Vapor Deposition Process to form AlN from AlCl3 and NH3
執筆形態	共著
掲載誌名	Appl. Phys. Lett.
巻・号・頁	59,pp.2521-2523
著者・共著者	H.J.Kim, Y.Egashira and H.Komiyama