エガシラ ヤスユキ
江頭 靖幸
所属
工学部 応用化学科
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
1992
形態種別
学術論文
標題
常圧熱CVDによるAlN膜合成における配向性の制御
執筆形態
共著
掲載誌名
化学工学論文集
巻・号・頁
18,622-628頁
著者・共著者
金 煕濬、
江頭 靖幸
、小宮山 宏