エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1992
形態種別	学術論文
標題	Molecular Size and Its Temperature Dependence of Growth Species in Chemical Vapor Deposition of Aluminum Nitride
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Chemical Vapor Deposition
巻・号・頁	1,pp.20-41
著者・共著者	H.J.Kim, Y.Egashira and H.Komiyama