エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1992
形態種別	学術論文
標題	Conformal Deposition of WSix Films on Micron-Sized Trenches: The Reactivity of Film Precursors
執筆形態	共著
掲載誌名	Appl. Phys. Lett.
巻・号・頁	61,pp.764-765
著者・共著者	T.Saito, Y.Shimogaki, Y.Egashira, H.Komiyama, Y.Yuyama, and K.Sugawara