エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1992
形態種別	学術論文
標題	Study of the Reaction of Si2H6 in the Presence of C2H2 in Synthesis of SiC Films by LPCVD Using a Macro/Microcavity Method
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Electrochem. Soc.
巻・号・頁	139,pp.3652-3659
著者・共著者	L.-S.Hong, Y.Shimogaki, Y.Egashira and H.Komiyama