ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	“Strain relaxation mechanism of SiGe-on-insulator layers in the Ge-condensation technique”
執筆形態	共著
掲載誌名	Proceedings of Third International Conference on SiGe(C) Epitaxy and Heterostructures
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.129
担当区分	筆頭著者,責任著者
著者・共著者	S. Nakaharai, T. Tezuka, N. Sugiyama, S. Takagi,