マエダ　ナリヒコ   前田　就彦    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2023/09
形態種別	学術講演予稿集（学会、研究会を含む）
標題	表面パッシベーション用SiN膜の絶縁性制御
執筆形態	共著
掲載誌名	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
掲載区分	国内
出版社・発行元	応用物理学会
巻・号・頁	21p-P06-11頁
総ページ数	1
担当区分	責任著者
著者・共著者	鳥井 理玖、村山 悠稀、高橋 智秀、鶴巻 綾、木村 充晃、神尾 岳、藤岡 洋、前田 就彦