ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	“Strain evaluation for thin strained-Si on SGOI and strained-Si on nothing (SSON) structures using nano-beam electron diffraction (NBD)”
執筆形態	共著
掲載誌名	2003 IEEE International SOI conference, Proceedings
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.138
著者・共著者	K. Usuda, T. Numata, T. Tezuka, N. Sugiyama, Y. Moriyama, S. Nakaharai, S. Takagi,