タカギ シゲユキ
  高木 茂行
   所属   工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2004/01
形態種別 学術論文
査読 査読あり
標題 モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション (第1報、Cu埋め込み形状 の再現)
執筆形態 共著
掲載誌名 日本機械学界論文集
巻・号・頁 70(689 B編),9-16頁
著者・共著者 山崎修,木下和哉,間瀬康一,八尋和之,南部 健一