タカギ シゲユキ
高木 茂行
所属
工学部 電気電子工学科
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2004/01
形態種別
学術論文
査読
査読あり
標題
モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション (第1報、Cu埋め込み形状 の再現)
執筆形態
共著
掲載誌名
日本機械学界論文集
巻・号・頁
70(689 B編),9-16頁
著者・共著者
山崎修,木下和哉,間瀬康一,八尋和之,南部 健一