エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1993
形態種別	学術論文
標題	Existence of Extinction Temperature in WSix Film Growth from WF6 and SiH4: An Indication of the Role Played by Radical Chain Reactions
執筆形態	共著
掲載誌名	Appl. Phys. Lett.
巻・号・頁	62,pp.1606-1608
著者・共著者	T.Saito, Y.Shimogaki, Y.Egashira, H.Komiyama, Y.Yuyama, K.Sugawara, S.Nagata, K.Takahiro and S.Yamaguchi