ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	“Formation of strained Si/SiGe on insulator structure with a (110) surface”
執筆形態	共著
掲載誌名	2003 IEEE International SOI conference, Proceedings
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.130
著者・共著者	N. Sugiyama, T. Mizuno, Y. Moriyama, S. Nakaharai, T. Tezuka, S. Takagi,