エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1994
形態種別	学術論文
標題	Deposition of WSix Films from Preactivated Mixture of WF6/SiH4
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
巻・号・頁	33,pp.275-279
著者・共著者	T.Saito, Y.Yuyama, Y.Egashira, Y.Shimogaki, K.Sugawara, H.Komiyama, S.Nagata, K.Takahiro and S.Yamaguchi