エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1994
形態種別	学術論文
標題	Step Coverage Simulation for Hexamethyldisiloxane and Ozone Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
巻・号・頁	33,pp.L473-L475
著者・共著者	K.Fujino, Y.Egashira, Y.Shimogaki and H.Komiyama