エガシラ ヤスユキ
江頭 靖幸
所属
工学部 応用化学科
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
1995
形態種別
学術論文
標題
WF
6
/Si
2
H
6
によるブランケットCVDのモデリングとシミュレーション
執筆形態
共著
掲載誌名
電気情報通信学会論文誌
巻・号・頁
C-II Vol.J78-C-II(No.5),213-220頁
著者・共著者
江頭 靖幸
、会田 弘文、斉藤 丈靖、霜垣 幸浩、小宮山 宏、菅原 活郎