エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1995
形態種別	学術論文
標題	Monolayer nitridation of silicon surfaces by a dry chemical process using dimethylhydrazine or ammonia
執筆形態	共著
掲載誌名	Appl. Phys. Lett.
巻・号・頁	66,pp.1527-9
著者・共著者	S.Takami, Y.Egashira, I.Honma and H.Komiyama