タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2004/01
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション　（第２報，ウェハ表面にお けるCu原子・イオンの挙動の考慮）
執筆形態	共著
掲載誌名	日本機械学界論文集
出版社・発行元	日本機械学会
巻・号・頁	70(689　B編),17-24頁
著者・共著者	山崎修，木下和哉，間瀬康一，八尋和之，南部　健一