ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2004
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	“Strained-Si/SiGe-on-insulator wafers fabricated by Ge-condensation process”
執筆形態	共著
掲載誌名	2004 IEEE International SOI Conference, Proceedings
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.141
著者・共著者	N. Hirashita, T. Numata, T. Tezuka, N. Sugiyama, K. Usuda, T. Irisawa, A. Tanabe, Y. Moriyama, S. Nakaharai, S. Takagi, E. Toyoda, Y. Miyamura,