ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2004
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	“SiGe-on-insulator and Ge-on-insulator substrates fabricated by Ge-condensation technique for high-mobility channel CMOS devices”
執筆形態	共著
掲載誌名	Material Research Society Symposium Proceedings, High-Mobility Group-IV Materials and Devices
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.809
著者・共著者	T. Tezuka, T. Mizuno, N. Sugiyama, S. Nakaharai, Y. Moriyama, K. Usuda, T. Numata, N. Hirashita, T. Maeda, S. Takagi, Y. Miyamura, E. Toyoda,