エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1996
形態種別	学術論文
標題	Control of Selective Tungsten Chemical Vapor Deposition by Monolayer Nitridation of Silicon Surface
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Electrochem. Soc.
巻・号・頁	143,pp.L38-40
著者・共著者	S.Takami, T.Saito, M.Fujii, Y.Egashira and H.Komiyama