エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1996
形態種別	学術論文
標題	Suppressing the Formation of Cone Structure in Chemical-Vapor-Deposited Aluminum Nitride/Titaniume Nitride Films
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Am. Ceram. Soc.
巻・号・頁	79,pp.1109-12
著者・共著者	Y.J.Liu, H.J.Kim, T.Takeuchi, Y.Egashira, H.M.Kimura and H.Komiyama