マエダ ナリヒコ
前田 就彦
所属
工学部 電気電子工学科
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2019/09
形態種別
学術講演予稿集（学会、研究会を含む）
標題
GaNの酸化膜形成2段階ウェットエッチング法における深さ方向のエッチング制御
執筆形態
共著
掲載誌名
第80回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
掲載区分
国内
出版社・発行元
応用物理学会
巻・号・頁
21p-E310-1頁
著者・共著者
清藤 泰旦、藤岡 洋、前田 就彦