エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1996
形態種別	学術論文
標題	常圧ＣＶＤ法によるAlN/TiN複合系製膜反応機構の解析
執筆形態	共著
掲載誌名	化学工学論文集
巻・号・頁	22,1429-1434頁
著者・共著者	劉 憶軍、金 煕濬、大沢 年男、江頭 靖幸、小宮山 宏