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エガシラ ヤスユキ
江頭 靖幸 所属 工学部 応用化学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 1997 |
| 形態種別 | 学術論文 |
| 標題 | Kinetic Study of Oxidation of Si(111) Surface using H2O |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Jpn.J.Appl.Phys. |
| 巻・号・頁 | 36,pp.2288-2291 |
| 著者・共著者 | Seiichi Takami, Yasuyuki Egashira and Hiroshi Komiyama |