ニシオ　カズユキ   西尾　和之    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2010/07
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Fabrication of ordered trench structures with high aspect ratios by anisotropic anode etching of Al(100).
執筆形態	共著
掲載誌名	Electrochem. Solid-State Lett.
概要	副筆 Alの電解エッチングによりトンネル状の深いピットが得られるが，ピットの開口形状は正方形となる．しかし，Alの表面にマスクを形成し，Cuを微量析出させる我々の技術により，長方形や任意のパターンのトレンチ構造が得られることがわかった．