エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1997
形態種別	学術論文
標題	TEOS/O3 系常圧熱CVDによるSiO2初期成膜過程のAFM・XPSによる観察と形態変化メカニズム
執筆形態	共著
掲載誌名	化学工学論文集
巻・号・頁	第23巻(第5号),644-651頁
著者・共著者	石川 政彦、江頭 靖幸、小宮山 宏