エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1998
形態種別	学術論文
標題	A Kinetic Study of the Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide from Dichlorodimethylsilan Precursors
執筆形態	共著
掲載誌名	J.Electrochem.Soc.
巻・号・頁	145(4),pp.1277-1284
著者・共著者	T.Takeuchi, Y.Egashira, T.Osawa and H.Komiyama