キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1994
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	In-situ Infrared Study of Chemical State of Si Surface in Etching Solution
執筆形態	共著
掲載誌名	Applied Physics Letters
巻・号・頁	65(13),pp.1694-282
著者・共著者	Michio Niwano, Yasuo Kimura and Nobuo Miyamoto