カガワ ユタカ
香川 豊
所属
学長 学長
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
1978
形態種別
学術論文
標題
アルカリハライドのAr+イオンによるスパッタ率の温度依存性
執筆形態
共著
掲載誌名
真空
掲載区分
国内
巻・号・頁
21(3),92-95頁
著者・共著者
香川 豊
, 島 芳延, 川村隆明, 市ノ川竹男
概要
原著論文