タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2013/08
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Simulataions and Experiments for O Density and Distribution in Ashing Process Using Surface Plasma Excited by Microwave
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physic
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	52(8),pp.086502-1-086502-8
著者・共著者	Oasmu Yamazaki, Kenji Yamauchi, and Tadashi Shinnmura