タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2012/10
形態種別	著書
標題	半導体プロセス・形状シミュレーション
執筆形態	共著
掲載誌名	半導体プロセス・形状シミュレーション
出版社・発行元	株式会社　オーム社
担当範囲	pp.1～220
著者・共著者	重里　有三
ISBN	978-4-274-21274-1
外部リンクURL	http://shop.ohmsha.co.jp/shop/shopdetail.html?brandcode=000000000340&search=978-4-274-21274-1&sort=