タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2002/04
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	大面積表面波プラズマによる高速・高選択液晶プロセスの研究
執筆形態	共著
掲載誌名	真空
出版社・発行元	真空学会
巻・号・頁	45(4),365-371頁
著者・共著者	加納正明，山内健資，斎藤誠，青木克明