エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2000
形態種別	学術論文
標題	３次元コンピュータシミュレーションを利用したCVD装置設計　－ガスアウトレットの効果－
執筆形態	共著
掲載誌名	化学工学論文集
巻・号・頁	第26巻(第6号),758-762頁
著者・共著者	國重 雅之、菅原 活郎、蔡 容基、霜垣 幸浩、江頭 靖幸、小宮山 宏