エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1991
形態種別	学術論文
標題	Micro-Trench 法による APCVD における表面反応速度定数の測定
執筆形態	共著
掲載誌名	化学工学論文集
巻・号・頁	17,1175-1178頁
著者・共著者	金 煕濬、江頭 靖幸、小宮山 宏