エガシラ ヤスユキ
  江頭 靖幸
   所属   工学部 応用化学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1992
形態種別 学術論文
標題 常圧熱CVDによるAlN膜合成における配向性の制御
執筆形態 共著
掲載誌名 化学工学論文集
巻・号・頁 18,622-628頁
著者・共著者 金 煕濬、江頭 靖幸、小宮山 宏